晶圆盒是半导体工厂中最常见的晶圆载体，我们通常看到的像塑料盒子一样，里面有多个平行的插槽。
洁净柜
一、工作原理：
它本身不改变盒内的气体环境。在标准的洁净室中，晶圆盒内部的环境就是洁净室的空气（虽然洁净度很高，但仍然含有氧气、水汽等）。
二、主要功能是物理性的：
1、固定晶圆：通过精密的插槽，确保每片晶圆之间保持安全距离，防止相互接触、刮擦和振动。
2、防尘：配合前开式通用盒（FOUP/FOSB）使用，可以为晶圆提供一个密闭空间，阻挡外部颗粒污染。
3、标准化接口：设计成与自动化设备、传送机器人完美对接，实现高效传输。
三、类型：
1、开放式卡匣：用于旧式的自动化设备，晶圆暴露在洁净室空气中。
2、前开式通用盒：用于300mm晶圆，是全封闭的，门打开时才会与工艺设备对接，大大提升了洁净度。
四、优点：
1、操作简便，适合高频率的取用和传输。
2、成本相对较低，是生产流程中的“标配”。
3、与自动化产线完美集成。
五、缺点：
1、无法阻止气相污染。空气中的水分和氧气会与晶圆表面发生反应，导致：
2、氧化：金属层（如铜）表面形成氧化层，影响电性能。
3、表面钝化：某些半导体材料表面特性发生变化。
4、化学污染：空气中的微量污染物可能吸附在晶圆表面。
六、氮气柜（洁净氮气柜）
氮气柜的作用是创造一个超低湿、超低氧、高洁净度的微环境。刚好解决晶圆盒放普通存放环境的缺点.
晶圆盒存放氮气柜是半导体制造中一个不可或缺的“避风港”。它通过创造一个充满高纯氮气的、干燥洁净的惰性环境，有效防止了晶圆表面的氧化和污染，是保证高端芯片高性能和高良率的基石设施。
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